Renrumsstandarder

Renrumsklassificering

Nedan följer renrumsklassificeringen för tidigare gällande nationella standarder samt nu gällande ISO
14644-standarden. OBS! Var vänlig kontrollera med respektive originaldokument innan användning av den angivna informationen.

 

ISO 14644

ISO 14644-1 Cleanrooms and Associated Controlled Environments

 

Part 1 - Classification of Air Cleanliness by Particle Concentration (2015)

 

  

 Maximala koncentrationsgränser (partiklar/m3 luft)
 (uppmätt för partiklar större än och lika med storlekarna nedan)   

   0.1 µm 0.2 µm 0.3 µm 0.5 µm   1 µm   5 µm
  Klass                        
  ISO 1      10b) d) d)  d)  d)  e) 
  ISO 2     100 24b) 10b) d) d)  e)
  ISO 3     1 000 237 102 35b)

d)

 e)
  ISO 4      10 000 2 370 1 020 352 83b)  e)
  ISO 5     100 000 23 700 10 200 3 520 832 d), e), f)
  IS0 6     1 000 000     237 000     102 000   35 200 8 320 293
  ISO 7    c)  c)  c) 352 000 83 200 2 930
  ISO 8   c) c)  c)  3 520 000 832 000 29 300
  ISO 9g)    c)  c)  c)    35 200 000     8 320 000     293 000  

 Renrumsklassificering i enlighet med ISO 14644-1(m3) (2015)

 

ISO 14644-1 Cleanrooms and Associated Controlled Environments
Part 1 - Classification of Air Cleanliness (1999)

 

  

 Maximala koncentrationsgränser (partiklar/m3 luft)
 (uppmätt för partiklar större än och lika med storlekarna nedan)   

   0.1 µm 0.2 µm 0.3 µm 0.5 µm   1 µm   5 µm
  Klass                        
  ISO 1      10 2        
  ISO 2     100 24 10 4    
  ISO 3     1 000 237 102 35 8  
  ISO 4      10 000 2 370 1 020 352 83  
  ISO 5     100 000 23 700 10 200 3 520 832 29
 IS0 6     1 000 000     237 000     102 000   35 200 8 320 293
  ISO 7          352 000 83 200 2 930
  ISO 8         3 520 000 832 000 29 300
  ISO 9           35 200 000     8 320 000     293 000  

Renrumsklassificering i enlighet med ISO 14644-1(m3) (1999)

US Federal Standard 209

Amerikansk nationell renrumsstandard, som idag ersatts av ISO 14644.

 

Gränsvärden för luftburna partiklar
(antal partiklar per ft3)

 Klass    ≥ 0.1 µm     ≥ 0.2 µm     ≥ 0.3 µm     ≥ 0.5 µm     ≥ 5 µm  
1 35 7.5 3 1 -
10 350 75 30 100 -
100 - 750 300 1 000 -
1 000 - - - 1 000 7
10 000 - - - 10 000 70
  100 000   - - - 100 000 700

Renrumsklassificering i enlighet med US Federal Standard 209 D (ft3) (utgick 1991)

 

  

 Gränsvärden för luftburna partiklar
  (antal partiklar lika med och större än angivna storleken, per m3   

  Klass     0.1 µm     0.2 µm     0.3 µm     0.5 µm     5 µm  
  M1     350     75.7     30.9     10   -
  M1.5     1 240     265     106     35.3   -
  M2     3 500     757     309     100   -
  M2.5     12 400     2 650     1 060     353   -
  M3     35 000     7 570     3 090     1 000   -
  M3.5     -     26 500     10 600     3 530   -
  M4     -     75 700     30 900     10 000   -
  M4.5     -   -   -     35 300     247  
  M5     -   -   -     100 000     618  
  M5.5     -   -   -     353 000     2 470  
  M6     -   -   -     1 000 000     6 180  
  M6.5     -   -   -     3 530 000     24 700  
  M7     -   -   -     10 000 000     61 800  

Klassificering av renrum i enlighet med US Federal Standard 209 E (m3)

 

  

 Gränsvärden för luftburna partiklar
  (antal partiklar lika med och större än angivna storleken, per ft3   

   0.1 µm 0.2 µm 0.3 µm 0.5 µm 5 µm
  Klass                      
  M1     9.91   2.14   0.875     0.283  -
  M1.5     35.0     7.50    3.0    1.0 -
  M2     99.1    21.4   8.75    2.83  -
  M2.5     350    75.0     30.0   10 -
  M3   991   214    87.5    28.3   -
  M3.5     -     750    300   100  -
  M4     -     2 140     875    283  -
  M4.5     -   -   -     1 000      7  
  M5     -   -   -     2 830    17.5  
  M5.5     -   -   -     10 000     70  
  M6     -   -   -     28 300     175 
  M6.5     -   -   -     100 000    700  
  M7     -   -   -     283 000    1 750  

Klassificering av renrum i enlighet med US Federal Standard 209 E (ft3)

 

British Standard 5295

Brittisk nationell renrumsstandard, som idag ersatts av ISO 14644.

Renrumsklassificering i enlighet med British Standard 5295 (m3)

 

 

 

Renrumsklassificering i enlighet med ISO 14644-1(m3)

 

Sammanställning av olika nationella och internationella renrumsstandarder